RX4100, yüksek saflık ve ultra yüksek saflık uygulamaları için bir atmosfer altı basınç regülatörüdür. En yüksek saflık seviyesi için mutlak basınç regülatörü.
Öne çıkan özellikler
Daha yüksek saflık seviyesi için tüm versiyonlarda benzersiz dişsiz tasarım
Yaysız tasarım
Optimize edilmiş besleme basıncı etkisi ve mükemmel akış kararlılığı
CGA E4 standardına göre kullanım ömrü
Vakumdan 21 bar (300 psig) giriş basıncına kadar
Temiz odada montaj, test ve paketleme: ISO 4 Sınıfı
Tam izlenebilirlik için bireysel seri numarası
SEMI F19 UHP Sınıfına göre elektro-parlatılmış yüzey
120mbara ile 0.7 bar arası (1.7psia ile 10 psig arası); 120mbara ile 2 bar arası (1.7psia ile 30 psig arası)
Sıcaklık aralığı
-20°C to +65°C (-4°F to +149°F)
Maks. giriş basıncı
21 bar (305 psig)
Sertifikalı maks. helyum dış kaçak oranı
≤ 1 x 10 -9 mbar.l/s
Sertifikalı maks. helyum iç kaçak oranı (maks. basınçta)
≤ 1 x 10 -9 mbar.l/s
Sertifikalı maks. helyum sızdırmazlık kaçak oranı (maks. basınçta)
≤ 1 x 10 -8 mbar.l/s
Ürün bilgileri ve görselleri üreticinin kendi yayınlarından derlenmiştir; Sedan Mühendislik'in bir kurulumunu göstermez. Teknik veriler sipariş öncesi teyit edilir.
