RX4000, yüksek saflık ve ultra yüksek saflık uygulamaları için tek kademeli, serbest diyaframlı bir basınç regülatörüdür. En yüksek saflık düzeyi için türünün ilk dişsiz basınç regülatörüdür.
Öne çıkan özellikler
Daha yüksek bir saflık düzeyi için tüm versiyonlarda benzersiz dişsiz tasarım
Optimize edilmiş besleme basıncı etkisi ve mükemmel akış kararlılığı
CGA E4'e göre kullanım ömrü
Vakumdan 240 bar'a (3500 psi) kadar giriş
Temiz odada montaj, test ve paketleme: Sınıf ISO 4
Tam izlenebilirlik için bireysel seri numarası
SEMI F19 UHP Sınıfına göre elektrolitik parlatılmış yüzey
Sertifikalı maks. helyum iç kaçak oranı (maks. basınçta)
≤ 1 x 10 -9 mbar.l/s
Sertifikalı maks. helyum sızdırmazlık kaçak oranı (maks. basınçta)
≤ 1 x 10 -8 mbar.l/s
Ürün bilgileri ve görselleri üreticinin kendi yayınlarından derlenmiştir; Sedan Mühendislik'in bir kurulumunu göstermez. Teknik veriler sipariş öncesi teyit edilir.
